Автор

Андреева Александра Викторовна

внс, д.ф.-м.н., профессор
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии наук (ИПТМ РАН)
Московская обл., Ногинский р-н, Черноголовка г., ул. Академика Осипьяна, 6